可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

　　形貌儀該如何進行日常的維護與保養(yǎng)呢？

　　首先：使用后要及時清理殘渣。原則上，需要測量的樣本是不需要特殊處理的，但是部分測試材料，例如木頭、塑料甚至是人的皮膚、頭發(fā)等等，都可能在測試臺留下殘渣。因此，在使用過后一定要及時的清理，保證形貌儀的測試臺的整潔。

　　第二：測頭是形貌儀的眼睛，如果發(fā)生損害或磨損，不能簡單的維修就可以了，一定要及時更換，防止下次測量數(shù)據(jù)的時候產(chǎn)生的誤差。失之毫厘謬以千里，一點小小的失誤就可能對個人乃至整個工程造成嚴重的后果。

　　第三：定期保養(yǎng)，調(diào)試精度。形貌儀之所以能迅速占領(lǐng)市場，根本原因就在于它的測量速度快、度高。定期對它進行檢視，調(diào)試精度，不但能減少誤差，確保測量數(shù)據(jù)的準確，也有利于延長其使用期限，能在有限的時間內(nèi)創(chuàng)造出無限的價值。