2023年第十七屆慕尼黑上海光博會(huì)于7月11日-13日，在上海國家會(huì)展中心隆重舉辦。此屆展會(huì)面積達(dá)到80,000平方米，共有1,100多家光電行業(yè)企業(yè)參展。

作為亞洲重要的激光、光學(xué)、光電行業(yè)的展會(huì)，慕尼黑上海光博會(huì)集中展示涵蓋激光器與光電子、光學(xué)與光學(xué)制造、激光智能制造、檢測與質(zhì)量控制（紅外技術(shù)及應(yīng)用）四大版塊，從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)應(yīng)用，致力于與企業(yè)一起共同探索著行業(yè)發(fā)展趨勢，推動(dòng)業(yè)界各分支領(lǐng)域的創(chuàng)新與商業(yè)發(fā)展。

測試與檢測是工業(yè)設(shè)計(jì)與制造過程中的重要環(huán)節(jié)，中圖儀器作為廣東省科學(xué)技術(shù)廳認(rèn)定的“廣東省高精度3D測量技術(shù)研究中心"；國家工信部認(rèn)定的、建議支持的專精特新“小巨人"企業(yè)，于此次展會(huì)（7.1H館檢測與質(zhì)量控制展區(qū)）向用戶提供質(zhì)量控制和測試測量解決方案。

2023慕尼黑上海光博會(huì)

時(shí)間：7月11日-13日

地點(diǎn)：國家會(huì)展中心（上海）

展位：7.1E115

一、智能影像測量

1、VX系列閃測儀

得益于“光學(xué)檢測技術(shù)+機(jī)器視覺技術(shù)"的創(chuàng)新及進(jìn)步，VX系列閃測儀采用雙遠(yuǎn)心高分辨率光學(xué)鏡頭，結(jié)合高精度圖像分析算法，并融入一鍵閃測原理。高分辨率鏡頭和2000萬高像素工業(yè)相機(jī)，1%亞像素圖像處理，高精度算法分析；自動(dòng)對(duì)焦，排除人為測量操作干擾，且重復(fù)聚焦一致性高。

VX系列閃測儀具有的一鍵秒測，速度快，批量快速尺寸測量特點(diǎn)，更適用于大批量小型精密零部件的尺寸檢測。

2、Novator系列影像儀

Novator系列影像儀是一款全自動(dòng)影像測量儀器，智能化和自動(dòng)化程度高，使精密測量變得簡單。在測量一些弱邊緣特征(如過渡曲線、圓角加工等)時(shí)能完成自動(dòng)抓取，在保證精度的前提下，可以自動(dòng)抓取產(chǎn)品的邊界和表面，測量效率更高。

光源一致校準(zhǔn)，切換倍率時(shí)軟件自動(dòng)補(bǔ)償光源亮度，使得切換之后仍然正常觀察。

Novator影像儀新增的飛拍功能改變影像儀傳統(tǒng)運(yùn)行方式，在平臺(tái)快速移動(dòng)過程中完成特征抓取測量，無停留等待時(shí)間，產(chǎn)品的測量效率對(duì)比傳統(tǒng)設(shè)備效率提升了5~10倍。

二、輪廓尺寸測量

1、MarsClassic移動(dòng)橋式三坐標(biāo)測量機(jī)

移動(dòng)橋式是三坐標(biāo)最為廣泛的一種結(jié)構(gòu)形式。這種結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運(yùn)動(dòng)速度快，精度高。Mars橋式三坐標(biāo)測量機(jī)配備高精度的導(dǎo)軌、測頭和控制系統(tǒng)，能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測，也可以對(duì)軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量。

2、SJ5720-OPT系列高精度光學(xué)曲面測量儀

SJ5720-OPT系列高精度光學(xué)粗糙度輪廓測量儀具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，是集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度光學(xué)曲面測量儀。微觀Pt精度高，能測量非球面，且非球面參數(shù)測量軟件支持定制功能，方便用戶操作。

智能非球面光學(xué)軟件分析系統(tǒng)

1).定制的非球面測量軟件系統(tǒng)，對(duì)標(biāo)泰勒PGI系列光學(xué)鏡片軟件，非球面全參數(shù)都能測量；

2).一鍵式測量，既能分析非球面，也可以同步分析各個(gè)位置的粗糙度，同時(shí)軟件中自帶一些參數(shù)自查，能確定輸入公式的正確性；

SJ5720-OPT系列非球面測量結(jié)果軟件界面圖

三、3d顯微形貌測量

1、SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，測量大尺寸樣品時(shí)支持拼接功能，將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。

在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結(jié)構(gòu)，當(dāng)要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時(shí)候，可以根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換。

2、VT6000共聚焦顯微鏡

共聚焦顯微鏡系統(tǒng)所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。更擅長微納級(jí)粗糙輪廓的檢測，雖在檢測分辨率上略遜，但能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測，對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

鐳射槽

3、CP系列臺(tái)階儀

臺(tái)階儀是超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

CP系列臺(tái)階儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。臺(tái)階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng)，對(duì)被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對(duì)表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

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