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Product CategorySuperViewW1高精度3d輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。
中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀非接觸高精密測量方式,不會劃傷甚至破壞工件,且測量速度快,不必像探頭逐點進行測量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
中圖儀器3d三維光學(xué)輪廓儀能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機械等領(lǐng)域。
?中圖儀器非接觸式3d光學(xué)輪廓儀SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機械等領(lǐng)域。非接觸高精密測量方式,不會劃傷甚至破壞工件,而且測量速度快,不必像探頭逐點進行測量。對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準確的得到理想的測量結(jié)果。
中圖儀器三維光學(xué)表面輪廓測量儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
SJ5730-100國產(chǎn)輪廓測量儀采用超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能伺服驅(qū)動電機、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù),能實現(xiàn)對工件表面粗糙度和輪廓進行高精度測量和分析,是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。
中圖儀器OP光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)的光學(xué)測量儀器。
中圖儀器SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
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