一、產(chǎn)品簡介

SuperView W1光學(xué)形貌測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W1光學(xué)形貌測量儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

二、產(chǎn)品功能

1. 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能。

2. 測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調(diào)亮度等自動化功能。

3. 測量中提供拼接測量功能。

4. 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

5. 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

6. 分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

7.  

三、應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

四、性能特色

1、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中也能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性；

2、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

3、雙重防撞保護措施

除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，*大限度的保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。

4、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

五、技術(shù)指標(biāo)：

1、技術(shù)規(guī)格表

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國際標(biāo)準(zhǔn)在實驗室環(huán)境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數(shù)獲得；

臺階高性能參數(shù)為依據(jù)ISO 5436-1:2000標(biāo)準(zhǔn)在實驗室環(huán)境下測量4.7µm臺階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

若非實驗室環(huán)境，準(zhǔn)確度和重復(fù)性指標(biāo)需相應(yīng)下調(diào)，具體需根據(jù)環(huán)境噪聲等級而定。

2．儀器尺寸（長×寬×高）： 主機：900×700×604㎜；

3．儀器主機重量：小于150Kg；

4．使用環(huán)境：無強磁場，無腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 2℃/60分鐘

相對濕度：5%-95%RH，無凝露

環(huán)境振動：VC-C或更優(yōu)

隔振氣源：0.6Mpa穩(wěn)壓清潔氣源，除油、除水，氣管直徑6㎜（可無）

七、產(chǎn)品配置清單

1）標(biāo)準(zhǔn)配置：

• SuperView W1主機

• 影像系統(tǒng)：1024×1024

• 光學(xué)Zoom：0.5×

• 干涉物鏡：10×

• XY位移載物臺：自動位移臺

• DELL品牌計算機

• 4.7μm  Z向校準(zhǔn)臺階塊

• 操縱手柄

• 中圖W1光學(xué)3D表面輪廓儀軟件

• 自動多區(qū)域測量、自動拼接測量功能模塊

• 電氣控制柜

• TGY30-680-30L無油靜音空壓機

• 儀器配件箱

• 加壓充氣裝置一套

• 產(chǎn)品使用說明書

• 產(chǎn)品合格證、保修卡

2）可選配置：

• 干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×

• 光學(xué)zoom：0.75 ×、1×；

• 真空吸附臺（尺寸可定制）：4寸、6寸;