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中圖儀器VT6000系列激光共聚焦的顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，保證儀器的高測量精度。在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像。

自設計之初，VT6000系列3d激光共聚焦形貌顯微鏡便定下了“簡單好用”四字方針的目標。設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能.

SuperViewW1白光干涉表面形貌儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。中圖儀器NS系列臺階儀接觸式表面形貌測量儀廣泛應用于：大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域。

SuperViewW1國產(chǎn)三維白光干涉儀以白光干涉技術原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對各種精密器件表面進行納米級測量，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1國產(chǎn)白光干涉顯微鏡以白光干涉技術為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。