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VT6000共聚焦超景深三維顯微鏡幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全。測量與分析同界面操作，無需切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能。

中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000自動三維共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和優(yōu)異的3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000高分辨率成像共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。橫向分辨率高，所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。更擅長微納級粗糙輪廓的檢測。

在相同物鏡放大的條件下，VT6000共聚焦3D超景深顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。擅長微納級粗糙輪廓的檢測，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000材料3D觀察測量共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。