中圖儀器VT6000激光共聚焦顯微鏡品牌通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡相比,激光共聚焦顯微鏡具有更高的分辨率。它顯微成像主要采用3D捕獲的成像技術(shù),使其具有較高的三維圖像分辨率。這些都是通過構(gòu)建顯微照片來實現(xiàn)的。
中圖儀器VT6000材料顯微鏡共聚焦光學(xué)測量各種精密器件及材料表面,能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
中圖儀器VT6000高分辨率激光共聚焦顯微鏡以共聚焦顯微測量技術(shù)為原理,主要測量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
中圖儀器VT6000共聚焦國產(chǎn)顯微鏡采用3D捕獲的成像技術(shù),它通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像,對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn);儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成,控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計。
中圖激光共聚焦顯微鏡VT6000基于共聚焦技術(shù)原理,主要測量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
VT6000轉(zhuǎn)盤式激光共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對。
基于激光共聚焦顯微測量技術(shù)的VT6000工業(yè)激光共聚焦電子顯微鏡,配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像,對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。并且可以在保證分辨率的同時滿足測量速度的需求。
VT6000材料共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
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